Sistema CVD de horno tubular de atmósfera de vacío de tipo abierto de 1200°C

DESCRIPCIÓN

Proporcione un entorno experimental con vacío, atmósfera controlable y alta temperatura, utilizado en semiconductores, nanotecnología, fibra de carbono y otros campos.

Este sistema de crecimiento de CVD es adecuado para procesos de CVD, como recubrimiento de carburo de silicio, pruebas de conductividad de sustratos cerámicos, crecimiento controlado de nanoestructuras de ZnO y experimentos de sinterización en atmósfera MLCC.

CARACTERISTICAS

1. El horno está hecho de adsorción al vacío de fibra de mullita policristalina, el campo de temperatura es uniforme y el ahorro de energía es superior al 50%.

2. La tecnología de desviación de aire y aislamiento térmico de desarrollo propio garantiza la vida útil y el efecto de temperatura constante de cada componente en la caja

3. Cuando se inicia el horno eléctrico, el extractor de aire funcionará automáticamente al mismo tiempo. Después de la prueba, el extractor continuará funcionando hasta que la temperatura del cuerpo del horno sea inferior a 60 °C y el extractor se detendrá automáticamente, lo que protege eficazmente la superficie del cuerpo del horno.

4. La puerta del horno se abre con apagado automático, función de protección contra sobretemperatura y función de protección contra fugas para garantizar la seguridad de uso.

5. El circuito adopta el modo de salida de calentamiento continuo, la fuente de alimentación de doble circuito y el cableado separado de corriente fuerte y débil mejora la estabilidad del sistema

6. El módulo de calefacción adopta una señal de CC para ajustar la potencia de salida, lo que evita la interferencia de la electricidad inducida en la señal de control.

7. Los botones de metal de bajo voltaje se utilizan para los botones de operación, con luces indicadoras de estado, operación segura e intuitiva.

8. Los cuerpos superior e inferior del horno están conectados por enchufes de aviación, que son seguros, confiables y convenientes para conectar.

9. El conjunto del circuito de gas está hecho de acero inoxidable 316 de grado alimenticio, que tiene resistencia a la corrosión, resistencia a la corrosión atmosférica y resistencia a altas temperaturas, y no es magnético.

10. Adopte un instrumento de visualización de flujo digital, coopere con el controlador de flujo másico, recopile datos y controle el flujo. Tiene las características de buena repetibilidad, velocidad de respuesta rápida, estabilidad y confiabilidad. (Sistema de control de flujo másico de gas)

11. Control automático y función de conmutación de control manual, el modo de control automático puede abrir/cerrar automáticamente la bomba de vacío a través del valor establecido, de modo que el contenedor se pueda mantener dentro de un cierto rango de presión de vacío. El modo de control manual utiliza al usuario para operar directamente la bomba de vacío a través del botón de encendido/apagado de la bomba de vacío. para satisfacer las necesidades de diferentes experimentos. (Sistema de control de vacío medio)

12. La tecnología de arranque lento de la válvula solenoide hace que la válvula solenoide se abra 10 segundos después de encender la bomba de vacío, de modo que la presión del sistema en el tubo del horno se mantenga precisa y también garantiza que los gases de escape no regresen al horno. sistema de tubos para afectar el efecto experimental (sistema de control de vacío medio)

PRESUPUESTO