Sistema CVD de horno tubular de atmósfera de vacío de 1400 ℃

DESCRIPCIÓN

Proporciona un entorno experimental con vacío, atmósfera controlada y alta temperatura.

Este sistema de crecimiento de CVD es adecuado para procesos de CVD, como recubrimiento de carburo de silicio, pruebas de conductividad de sustratos cerámicos, crecimiento controlado de nanoestructuras de ZnO y experimentos de sinterización en atmósfera MLCC.

CARACTERISTICAS

1. El horno está hecho de adsorción al vacío de fibra de mullita policristalina, el campo de temperatura es uniforme y el ahorro de energía es superior al 50%

2. La tecnología de desviación de aire y aislamiento térmico garantiza la vida útil y el efecto de temperatura constante de cada componente en la caja

3. Inicie el horno eléctrico y el extractor funcionará automáticamente al mismo tiempo. Después de la prueba, el extractor continuará funcionando hasta que la temperatura del cuerpo del horno sea inferior a 60 °C y el extractor se detendrá automáticamente, lo que protege eficazmente la superficie del cuerpo del horno.

4. Apagado automático, función de protección contra sobretemperatura, función de protección contra fugas para garantizar la seguridad de uso

5. El circuito adopta el modo de salida de calentamiento continuo, la fuente de alimentación de doble circuito y el cableado separado de corriente fuerte y débil mejora la estabilidad del sistema

6. El módulo de calefacción adopta una señal de CC para ajustar la potencia de salida, lo que evita la interferencia de la electricidad inducida en la señal de control.

7. Compensación automática del efecto de control de temperatura causado por la temperatura o el envejecimiento en el cambio del valor de resistencia de la varilla de carburo de silicio, evitando la inexactitud y el peligro de un ajuste artificial

8. Adopte un instrumento de visualización de flujo digital, coopere con el controlador de flujo másico, recopile datos y controle el flujo. Tiene las características de buena repetibilidad, velocidad de respuesta rápida, estabilidad y confiabilidad. (Sistema de control de flujo másico de gas)

9. Control automático y función de conmutación de control manual, el modo de control automático puede encender/apagar automáticamente la bomba de vacío a través del valor establecido para mantener el contenedor dentro de un cierto rango de presión de vacío. El modo de control manual utiliza al usuario para operar directamente la bomba de vacío a través del botón de encendido/apagado de la bomba de vacío. para satisfacer las necesidades de diferentes experimentos. (Sistema de control de vacío medio)

10 Tecnología de arranque lento de la válvula solenoide, de modo que la válvula solenoide se abre 10 segundos después de que se enciende la bomba de vacío, para que la presión del sistema en el tubo del horno se mantenga precisa, y también asegura que el gas de escape no volverá a la sistema de tubo de horno para afectar el efecto experimental (sistema de control de vacío medio)

PRESUPUESTO